Automation of a dual ion beam sputtering system for optical applications

Menchini, Francesca;Di Sarcina, Ilaria;Scaglione, Salvatore
2012-01-01

2012
Dual Ion Beam Sputtering;deposition parameters;LabVIEW;automation
File in questo prodotto:
File Dimensione Formato  
2012_7_ENEA.pdf

accesso aperto

Licenza: Creative commons
Dimensione 2.35 MB
Formato Adobe PDF
2.35 MB Adobe PDF Visualizza/Apri

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.12079/6646
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
social impact